新潟大学工学部トライボロジー研究室

apparatus

実験・測定機器

研究室にある主な機器

走査型電子顕微鏡(SEM)

日本電子株式会社
マルチタッチパネル走査電子顕微鏡 JSM-6010PLUS/LA

仕様

機能

高真空モード，低真空モード，EDS

倍率

×8～×300,000

試料室圧力調節範囲

10Pa～100Pa

試料移動範囲

X方向：	20mm
Y方向:	10mm
Z方向:	ユーセントリック面移動範囲	WD5～48mm
	フォーカス範囲	WD5～48mm
傾斜:	-10～+90°
回転:	360°エンドレス

原子間力顕微鏡（AFM）

株式会社島津製作所
走査型プローブ顕微鏡 SPM-9700

仕様

観察モード	コンタクト/ダイナミック/位相/水平力/ フォースモジュレーション
分解能	XY:0.2nm，Z:0.01nm
光源	レーザーダイオード
変位検出系	光源／光てこ／検出器
駆動素子	チューブ型ピエゾ素子
スキャナ最大走査範囲	125μm(X)×125μm(Y)×7μm(Z)
試料最大形状	φ24mm×8mm
Z軸最大可動範囲	10mm
光学顕微鏡観察方法	ビームスプリッタスライド方式

走査型共焦点レーザ顕微鏡

オリンパス株式会社
走査型共焦点レーザ顕微鏡 OLS3100

仕様

光源	紫色半導体レーザ
波長/出力	408nm/0.9mW
対物レンズ	x5，x10，x20，x50，x100
モニタ上倍率	100～12000
平面分解能	0.12μm
高さ分解能	0.001μm

顕微FT-IRシステム

株式会社島津製作所
フーリエ変換赤外分光光度計（FT-IR） IRTracer100 + 赤外顕微鏡 AIM-8800

IRTracer100仕様

波数範囲	7800～350 cm^-1
SN比	60000：1

AIM-8800仕様

波数範囲	5000～720 cm^-1（Type1） 5000～650 cm^-1（Type2）
SN比	2600：1（Type1） 2000：1（Type2）

紫外可視近赤外分光光度計

株式会社島津製作所
紫外可視近赤外(UV-Vis-NIR) 分光光度計 UV-3150

仕様

測定波長範囲	190～3200nm
分解	0.1nm
測定方式	ダブルビーム直接比率測光方式
光源	50Wハロゲンランプ，重水素ランプ
測光レンジ	吸光度:-4～5Abs(0.001Abs単位まで) 透過率，反射率:0～999.9%T(0.01%単位まで)

紫外可視分光光度計

株式会社島津製作所
紫外可視近分光光度計 UV-2550

仕様

測定波長範囲	190～900nm
スペクトルバンド	0.1/0.2/0.5/1/2/5 nm
分解	0.1 nm
測光方式	ダブルビーム測光方式

焦点距離測定器

パール光学工業株式会社
焦点距離測定装置 MB-30

仕様

測定範囲	0～450mm
読取表示	1/1000mm
上下微動範囲	±5mm
前後微動範囲	0～15mm
前後粗動範囲	0～490mm
ステージ	±15mm（前後左右），±40°（回転）

レーザ干渉計

フジノン株式会社（現・富士フィルム株式会社）
コンパクトレーザー干渉計 F601（球面測定）

仕様

光源	He-Neレーザー
有効光束径	φ60mm
測定感度	λ/2（0.3μm/縞）
基準面精度	λ/20
拡大倍率	x1
寸法	約300×320×785mm

超微小押し込み硬さ試験機

株式会社エリオニクス
超微小押し込み硬さ試験機 ENT-1100b

仕様

荷重範囲	98μN ～ 980mN (19μN可能)
荷重制御	電磁力式制御
測定範囲	0 ～ 20μm
測定分解能	0.3nm
測定方式	静電容量変位計

CNC三次元測定機

株式会社ミツトヨ
CNC三次元測定機 Bright Apex 504

仕様

測定範囲	x軸：505mm，y軸：405mm，z軸：405mm
測定精度（指示誤差）	(2.9+4L/1000)μm
測定精度（プロービング誤差）	3.0μm（TP2-5w）
測定最大高さ	545mm
測定最大質量	100kg
最大駆動速度	430mm/s

表面形状・粗さ測定機

テーラーホブソン株式会社
表面形状・粗さ測定機フォームタリサーフシリーズ2 S6

仕様

検出方式	位相格子干渉計方式
駆動距離	120mm
駆動真直度	0.5μm/120mm，0.25μm/60mm
サンプリング間隔	0.25μm/30mm，1μm/30.001mm
カットオフ	粗さ0.08mm～25mm（6種）うねり0.0025mm～25mm（9種）
フィルター	ISO，PC（位相補正），ガウシアン

真円度・円筒形状測定機

株式会社ミツトヨ
真円度・円筒形状測定機ラウンドテス RA-2000AH

仕様

回転精度	(0.02+6H/1000)μm H：測定高さ(㎜)
回転速度	2， 4， 6， 10rpm
水平だし調整範囲	±1°
心だし調整範囲	±5mm
最大測定径	φ300mm
最大積載量	30kg

表面性測定機

新東科学株式会社
表面性測定機トライボギア TYPE14DR

仕様

移動速度	30～6000mm/min
駆動モータ	直流サーボモータ
駆動方式	ラック・ピニオン方式
移動距離	1～100mm
測定範囲	0～100gfまたは0～2000gf

精密万能試験機

株式会社島津製作所
精密万能試験オートグラフ AGS05kNH

仕様

試験力測定精度	指示値の±1%以内
試験速度	0.5～500mm/min
試験速度精度	±0.1%
クロスヘッド速度と許容試験力	全速度10kN
クロスヘッド～テーブル間隔	Min.70mm～Max.1100mm
有効試験幅	420mm

偏心測定器

オリンパス株式会社
心取工程用高精度レンズ偏心測定機 LCC

仕様

測定可能Ｒ	凹凸2～600mm
測定方法	1面のみの反射像測定
レンズ保持方法	真空吸着
光源	ハロゲンランプ（12V50W）
外形寸法	700（W）×600（D）×1250（H）mm
本体重量	約200kg

赤外線サーモグラフィカメラ

日本アビオニクス株式会社
InfReC R500

仕様

測定温度範囲	-40度～2000度
温度分解能	0.03度 at 30度
温度精度	±1度
検出器画素数	640×480画素
フレームレート	30 Hz

高速度カメラ

フォトロン株式会社
FASTCAM-PCI R2

仕様

レンズマウント	Cマウント
撮像方式	正方画素プログレッシブスキャン方式CCD
走査面積	7.4μm(H)×7.4μm(V) 正方画素
ユニットセルサイズ	4.8mm(H)×3.6mm(V) 1/3インチCCD
走査方式	ノンインターレース(プログレシッブスキャン方式)　250Hz
走査線数	480本

イオンシャワー成膜装置

株式会社エリオニクス
小型ECRイオンシャワー装置 EIS-220ER

仕様

イオン銃	ECR型イオン銃
加速電圧	100V～3000V連続可変 20V～200V（低加速電極ユニット）（出力電流20mA MAX）
イオン流密度	Ar:1.5mA/cm2以上（2kV加速時） O2:2.0mA/cm2以上（2kV加速時）
イオンビーム有効系	φ20mm（FWHM35mm）
イオン流安定度	±3％/2H

YAGレーザ加工機

ミヤチテクノス株式会社（現・株式会社アマダミヤチ）
YAGレーザ加工機 ML-7064A

仕様

発振周波数	1.064μm
クラス	クラス4
最大出力	50W (CWモード時)
発振形態	Qスイッチパルス発振及びCW発振
Qスイッチパルス設定周波数	0.1～99.9kHz
ガイド光	赤色半導体レーザ
スキャン方式	ガルバノメータスキャナ
マーキングエリア	φ80mm
ワークディスタンス	93mm
位置分解能	2μm
マーキング速度	0.01～5000mm/s

THGレーザ加工機システム

ミヤチテクノス株式会社（現・株式会社アマダミヤチ）
YAG THGレーザ装置 ML-9600A

仕様

発振波長	355nm
発振モード	低次マルチモード
最大出力	3W (6kHz時)
発振形態	Qスイッチパルス発振
QSWパルス周波数	0.1～99.9kHz

小型万能切断機

株式会社マルトー
ラボカッター MC-120

仕様

主軸回転数	1970 rpm
テーブル寸法	W250 × L250 mm
使用ホイール径	125D～200D×30H mm
機体寸法	W300×L750×H330 mm
機体質量	約25 kg

バフ研磨器

BUEHLER
MetaServ 250 with Vector LC 250

仕様

プラテンサイズ	203 / 254mm
回転速度	50-500 rpm
加力	バネ作用
荷重	0-40 N
ヘッド回転速度	60 rpm
モーター	90 W / 220 V

試料埋込機

株式会社ウィンゴー
ハンドプレスP-4210

仕様

モールドサイズ	φ25orφ32orφ38(mm)
標準埋込み時間	5～7分
ヒーター	単相 110V 400W
外形寸法	W285×D500×H585(mm)
重量	約28kg

その他装置


卓上旋盤	卓上フライス盤 + 卓上ボール盤

卓上CNCフライス盤	帯鋸盤（バンドソー）

ベルトサンダー	湿式切断機

超音波洗浄器	デジタルオシロスコープ

光学顕微鏡	高周波誘導加熱装置

接触面顕微鏡	測定顕微鏡